藤仓
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標準形FCシリーズ

  • FCシリーズはBFシリンダの基本になるタイプで、シリンダ径φ10~200mmまで、各種取りそろえております。
  • 各種サイズとも、単動押出形と複動形(但し、φ25mm以上)があります。
  • 取付金具はエル形?フランジ形?トラニオン形?ピボット形をそろえております。(但し、シリンダ径φ25mm以上)
  • リニアボールベアリング型SCシリーズ

  • SCシリーズは、軸受にリニアボールベアリングを組み込んでおり、FCシリーズと同一の寸法、構造をもち、
    BFダイヤフラムの特長が最大限に生かされています。
  • 圧力変動に対する追従性が良い。
  • 微圧にて作動する。
  • 横荷重がかかったときに摩擦が変わりにくい。
  • 薄型TCシリーズ

    省スペース領域でも高精度な押し圧制御が可能になる。

    • 極薄取り付け高さを極力抑えた設計です。
    • シール性抜群ダイヤフラムを使用しているため、エア漏れは極めて少ない。
    • 応答性抜群圧力がわずかに変化しても、敏感に反応します。
    • 始動性良長時間の停止後も、スムーズに作動します。
    • クリーン大気側に軸受けによる摺動部が無いため、発塵がほとんどありません。
    • 潤滑不要エア配管にルブリケータを設置する必要がありません。

    超周密減圧弁RSシリーズ

    圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを使用したサーボバランス方式を用いておりますので、周密な圧力調整が可能です。

    高精度制御
    感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の空気圧制御が可能です。
    優れた特性
    リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。特に、リリーフ最小圧力(リリーフ感度)が0.03kPa(理論計算値と優れていますので、テンションコントロール、エアーバランスなどの用途に最適です。
    優れた始動安定性
    長時間作動しなかった後でも、圧力を再調整する必要がありません。

    ステッピングモータ駆動式周密レギュレータRS?M/Sシリーズ

    高精度制御

    感度0.1%F.S.、ヒステリシス±0.1%F.S.という高精度の空気圧制御
    優れた特性
    リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。
    リリーフ最小圧力(リリーフ感度)は0.03kPa(理論計算値)
    優れた始動安定性
    長時間使用しなかった後でも以前の設定のまま始動しますので、再調整は必要ありません。
    長期間の圧力安定性
    圧力設定後、設定圧を長期間正確に坚持します。設定後の圧力降下はほとんどありません。
    高い圧力分解能
    5相ステッピングモータ駆動により、1ステップの駆動で設定圧をわずかだけ、確実に変えることができます。マイクロステップ駆動にすれば、圧力分解能0.1 kPa以下という高分解能設定が可能です。
    停電しても圧力を坚持
    忽然の停電でも、2次圧は設定圧を坚持します。

    超周密減圧弁エアリレーRRシリーズ

    他の減圧弁より入力される外部パイロット圧により2次側圧力を可変できるエアーオペレート型の減圧弁です。
    圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを使用したサーボバランス方式を用いておりますので、周密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超周密レギュレータです。

    クリーン仕様
    部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
    マニホールド対応
    マニホールド配管が可能です。
    排気ポートを設備
    リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
    高精度
    感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の圧力制御が可能です。

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